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    2018 年 01 月 11 日 下午09:10   

    NCN新聞中心/資料來源報導
    東京, 2018年1月10日 - (亞太商訊) - 田中控股株式會社(總公司:東京都千代田區、執行總裁:田苗 明)宣布田中貴金屬集團旗下負責製造事業的田中貴金屬工業株式會社(總公司:東京都千代田區、執行總裁:田苗 明)開始提供新開發的高品質Au蒸鍍材料「SJeva」樣品。本蒸鍍材料較以往的產品純度更高,因此能夠減少貴金屬的使用、透過縮短製程提升生產性與降低成本,並提高回收再利用性。
    本蒸鍍材料藉由改善製造工法,比起過去產品成功地降低蒸鍍材料中所存在的非金屬夾雜物(※1)。田中貴金屬工業本來即齊備純度4N(金含有率99.99%)到5N(金含有率99.999%)的Au蒸鍍材料,本蒸鍍材料為純度更高的產品。透過使用非金屬夾雜物極為稀少的蒸鍍材料,能夠減少蒸鍍材料溶解時凝集於表層的污垢成分,無須再進行清洗。此外,也可縮短高純度蒸鍍材料成膜前的預熱時間(※2),進而抑制無助於成膜的蒸鍍材料的消耗,得以縮減成本。再加上因本蒸鍍材料的氣體成分含有量少,可望帶來抑制成膜時蒸鍍源所產生的飛濺現象(※3)的效果,即使是在進行高速蒸鍍時,亦能降低基板上的顆粒(※4)附著量。